ラピダス発注の露光装置が新千歳空港に到着　オランダから直行便で

千歳市に次世代半導体工場を建設中のラピダス（東京）が発注した「極端紫外線（EUV）露光装置」の一部が12月14日、新千歳空港に到着した。今回が第1便で、関係者によると年内に複数回に分けて空輸される予定という。装置が完成すれば、来年4月予定の試作ライン稼働に向けた準備は最終段階を迎える。